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一种垂直式MEMS弯形探针插针装置及其插针方法

基本信息

申请号	CN202210107716.6	申请日	-
公开（公告）号	CN114487781A	公开（公告）日	2022-05-13
申请公布号	CN114487781A	申请公布日	2022-05-13
分类号	G01R31/28（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	于海超;徐兴光;周培清	申请（专利权）人	强一半导体（苏州）股份有限公司
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	-
地址	215000江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢2楼
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种垂直式MEMS弯形探针插针装置及其插针方法；插针装置包括上固定结构、下固定结构、平移结构、倾斜结构、定位导向结构视觉检测结构，插针装置被配置成，在工作位置、所述倾斜机构带动所述下固定结构倾斜时，探针的针尾在所述下探针孔的空间内具有θ轴、X轴、Y轴上倾斜旋转的自由度，所述上盖板上的上探针孔与下盖板上的下探针孔一一垂直对应，所述上盖板上的导向孔与所述下固定结构上的导向柱一一垂直对应。本发明依靠结构简单但是可靠性、精度极高的机械结构，来实现了插针能确保上、下盖板稳定、无偏移得分开，不会发生弯针、重复对位、效率低下等问题，成本低、精度高，确保MEMS弯形探针这种具有特殊结构探针的插针成品率。