一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具
基本信息
| 申请号 | CN202123194141.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215560642U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215560642U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王吉;余启川;王伟;王刚 | 申请（专利权）人 | 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州华知专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 张德宝 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市长安镇（高新区）新潮路15号4号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，包括夹具本体，夹具本体外沿为圆形，夹具本体内设置有方形开口，方形开口处正面向内设置有凹台，凹台上下侧的夹具本体上开设有调节槽，调节槽内设置有可沿调节槽移动的调节卡扣，调节卡扣沿凹台上下侧位置调节，调节卡扣上开设有腰圆孔，调节槽内设置有螺纹孔，螺纹孔上螺纹连接有旋钮，旋钮沿腰圆孔调节紧固调节卡扣。本实用新型提供了一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，便于特殊定制的方形晶圆在原有真空溅射镀膜机上完成镀膜工艺，无需重新定制真空溅射镀膜机，节约成本，通过调节卡扣固定晶圆，保证其在镀膜过程中不发生松动，影响镀膜质量，且调节卡扣可在一定范围尺寸内调节，适用范围广。 |
