一种晶圆级点胶装置

基本信息

申请号 CN202221140695.X 申请日 -
公开(公告)号 CN216857179U 公开(公告)日 2022-07-01
申请公布号 CN216857179U 申请公布日 2022-07-01
分类号 B05C1/02(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 张勇庆;余启川;王吉 申请(专利权)人 美迪凯(浙江)智能光电科技有限公司
代理机构 杭州华知专利事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 314400浙江省嘉兴市海宁市长安镇(高新区)新潮路15号4号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆级点胶装置,包括上模和下模,上模和下模间设置有对位结构,上模和下模通过对位结构对位合并,上模底部安装有浸渍模具,浸渍模具上对应工件的点胶点分别对应设置有点胶凸起,下模上对位浸渍模具设置有安置位,安置位上可对位安置托盘和工件,托盘上对应点胶凸起设置有填胶口,填胶口内填充有胶液,托盘安置在下模上,上模和下模合并时,点胶凸起接触胶液,工件安置在下模上,上模和下模合并时,点胶凸起接触工件上点胶点。本实用新型设计了一种晶圆级点胶装置,制作简单,成本低,一次性完成所有点胶点的点胶,点胶效率高;点胶时间短,提高点胶的均匀性。