一种晶圆级点胶装置
基本信息
申请号 | CN202221140695.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216857179U | 公开(公告)日 | 2022-07-01 |
申请公布号 | CN216857179U | 申请公布日 | 2022-07-01 |
分类号 | B05C1/02(2006.01)I | 分类 | 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
发明人 | 张勇庆;余启川;王吉 | 申请(专利权)人 | 美迪凯(浙江)智能光电科技有限公司 |
代理机构 | 杭州华知专利事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市长安镇(高新区)新潮路15号4号厂房 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆级点胶装置,包括上模和下模,上模和下模间设置有对位结构,上模和下模通过对位结构对位合并,上模底部安装有浸渍模具,浸渍模具上对应工件的点胶点分别对应设置有点胶凸起,下模上对位浸渍模具设置有安置位,安置位上可对位安置托盘和工件,托盘上对应点胶凸起设置有填胶口,填胶口内填充有胶液,托盘安置在下模上,上模和下模合并时,点胶凸起接触胶液,工件安置在下模上,上模和下模合并时,点胶凸起接触工件上点胶点。本实用新型设计了一种晶圆级点胶装置,制作简单,成本低,一次性完成所有点胶点的点胶,点胶效率高;点胶时间短,提高点胶的均匀性。 |
