高纯三氟化氯中杂质定量、定性装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202110142786.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112946126B | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN112946126B | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | G01N30/02（2006.01）I;G01N30/20（2006.01）I;G01N30/66（2006.01）I;G01N30/72（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李纪明;杨建中;陈施华;华小林;杜勇 | 申请（专利权）人 | 福建德尔科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 厦门原创专利事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 364000福建省龙岩市上杭县蛟洋镇蛟洋工业集中区工业路6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种高纯三氟化氯中杂质定量、定性装置及方法。装置包括：切换单元，包括进气管道、出气管道、六通阀、第一四通阀及第二四通阀，六通阀包括a阀门至f阀门，第一四通阀包括g阀门、h阀门、i阀门和j阀门，第二四通阀包括k阀门、l阀门、m阀门和n阀门；进气管道与出气管道分别连接a阀门和b阀门；定量环，两端分别连接c阀门和f阀门；载气单元，分别连接e阀门、i阀门和m阀门；分离单元，包括两端分别连接d阀门和g阀门的氟醚油柱、两端分别连接j阀门和k阀门的第一分子筛、与l阀门连接的第二分子筛；分析单元，包括与h阀门连接的第一TCD、连接于第一分子筛与k阀门之间的第二TCD、连接于第二分子筛的PDD。 |
