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一种电子级六氟化硫的多级制备方法

基本信息

申请号 CN202110142779.0 申请日 -
公开（公告）号 CN112850654B 公开（公告）日 2022-06-03
申请公布号 CN112850654B 申请公布日 2022-06-03
分类号 C01B17/45（2006.01）I 分类 无机化学;
发明人 华祥斌;赖金香;张朝春;刘志强;罗浩;邱桂祥 申请（专利权）人 福建德尔科技股份有限公司
代理机构 厦门原创专利事务所（普通合伙） 代理人 -
地址 364000福建省龙岩市上杭县蛟洋镇蛟洋工业集中区工业路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种电子级六氟化硫的多级制备方法，包括：将氟气通入卧式SF6反应单元，并与硫磺蒸汽在195～205℃持续反应形成SF6粗气；将反应单元SF6粗气除尘后通入热解单元中，将SF6粗气中的S2F10气体热解；将步骤S2处理后的混合气体通入水洗单元进行水洗，得到一级纯化气体；将反应单元一级纯化气体通入碱洗单元进行碱洗，得到二级纯化气体；将反应单元二级纯化气体通入水气分离单元以去除水分得到三级纯化气体；将反应单元三级纯化气体通入低压吸附单元中吸附，得到四级纯化气体；将反应单元四级纯化气体通入高压吸附单元中吸附得到五级纯化气体；将反应单元五级纯化气体通入精馏单元进行精馏，得到电子级六氟化硫。