电子级三氟化氯的纯化系统及其温差动力控制方法
基本信息
申请号 | CN202210043269.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114538380A | 公开(公告)日 | 2022-05-27 |
申请公布号 | CN114538380A | 申请公布日 | 2022-05-27 |
分类号 | C01B7/24(2006.01)I;B01D3/14(2006.01)I;B01D3/32(2006.01)I;B01D3/42(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 李向如;李嘉磊;申黎明;陈施华 | 申请(专利权)人 | 福建德尔科技股份有限公司 |
代理机构 | 厦门原创专利事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 364000福建省龙岩市上杭县蛟洋镇蛟洋工业集中区工业路6号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种电子级三氟化氯的纯化系统及温差动力控制方法。所述纯化系统包括:顺序连接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升温罐体、哈氏合金耐压升温罐体、3级金属吸附剂层床、2级低温精馏装置、液化罐体以及稳压罐体;其中,所述第一哈氏合金冷凝器的进料端设置于其顶端且与反应器相连通,所述第一哈氏合金冷凝器的出料端设置于其底端且与所述第一哈氏合金升温罐体的进料端连接;所述第一哈氏合金冷凝器用于将所述反应器产生的三氟化氯粗产品进行冷凝,从而通过温度差来给所述反应器出口气体提供动力。 |
