高压超结衬底的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010284469.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111463262A | 公开（公告）日 | 2020-07-28 |
| 申请公布号 | CN111463262A | 申请公布日 | 2020-07-28 |
| 分类号 | H01L29/06(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张广银;白玉明;杨飞;吴凯;朱阳军 | 申请（专利权）人 | 南京芯长征科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人 | 南京芯长征科技有限公司 |
| 地址 | 211100江苏省南京市江宁区苏源大道19号九龙湖国际企业总部园A2座10层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种高压超结衬底的制备方法，其在基层衬底上通过外延工艺制备衬底耐压辅助层以及超结耐压层，通过沟槽刻蚀工艺在衬底耐压辅助层内得到衬底辅助层沟槽，对超结耐压层沟槽刻蚀后得到耐压辅助通孔，整个工艺过程与现有工艺兼容，由于采用同一光刻版刻蚀得到耐压辅助通孔以及衬底辅助层沟槽，能有效降低刻蚀难度，同时，刻蚀得到的衬底辅助层沟槽以及耐压辅助通孔具有很好的垂直性，侧壁一致性较好，深宽比减小，降低了辅助层沟槽填充体、辅助通孔填充体填充的难度，减少了空洞和缺陷的形成，电荷平衡得到加强，有利于击穿电压的提高，技术难度得到大幅的降低，为超结应用在特高压领域奠定基础。 |
