定量测量激光盲孔产生胶渣量的方法

基本信息

申请号 CN202111061942.7 申请日 -
公开(公告)号 CN113983970A 公开(公告)日 2022-01-28
申请公布号 CN113983970A 申请公布日 2022-01-28
分类号 G01B15/02(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 李俊;钱国祥;姚晓建 申请(专利权)人 安捷利美维电子(厦门)有限责任公司
代理机构 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 代理人 王忠浩
地址 361026福建省厦门市海沧区海沧大道567号厦门中心E座26F
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种定量测量激光盲孔产生胶渣量的方法,采用水平线或者垂直线以棕化或者黑化的方式对板材表面进行处理;根据所需规格的盲孔调整激光参数,加工并钻出盲孔;采用机械研磨的方式将前处理中产生的相应氧化膜去除;按沉铜工艺所需铜厚沉铜1次或多次直至沉铜层铜厚在0.5um以上;将选定盲孔的位置锣出,将胶填充满盲孔;对盲孔进行纵切片,研磨处理;读出沉铜层和底铜之间的胶渣厚度。激光钻孔后无需去除胶渣,直接在原盲孔底部胶渣上沉上一层铜隔离并用以分析,无需电镀,避免电镀应力导致铜层翘起影响结果判断,解决了检测效果差、效率低的问题。