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一种多晶硅提纯装置

基本信息

申请号	CN201120017725.3	申请日	-
公开（公告）号	CN202022753U	公开（公告）日	2011-11-02
申请公布号	CN202022753U	申请公布日	2011-11-02
分类号	C01B33/037(2006.01)I	分类	无机化学;
发明人	明瑞法;杨强;肖实生;杨建云;杨旸	申请（专利权）人	江西开昂新能源科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	338000 江西省新余市经济开发区光明路1488号
法律状态	-

摘要

本实用新型的目的是提供一种改进的多晶硅提纯装置，包括：电磁感应熔炼单元(001)，以电磁感应加温熔融金属硅料生成高温硅液；等离子冶炼炉(200)，在真空环境下离子束吹气氧化冶炼高温硅液；恒温石英导管(101)，将等离子冶炼炉(200)内的高温硅液恒温导入电子束熔炼炉(305)；电子束熔炼炉(305)，在真空环境下以高能电子束轰击高温硅液；定向凝固单元(401)，使从电子束熔炼炉(305)流出的高温硅液在上下温度梯度下定向冷却凝固并均匀拉坯。本实用新型将离子束吹气氧化和电子束熔炼在各自独立的真空环境进行，提供最优除杂提纯工艺。设备简单，成本低廉，工艺可控，减少中间污染环节，实现了低能耗、快速高效生产太阳能级多晶硅。