一种多晶硅提纯装置及提纯方法
基本信息
| 申请号 | CN201110022399.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102602933A | 公开（公告）日 | 2012-07-25 |
| 申请公布号 | CN102602933A | 申请公布日 | 2012-07-25 |
| 分类号 | C01B33/037(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 明瑞法;杨强;肖实生;杨建云;杨旸 | 申请（专利权）人 | 江西开昂新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 338000 江西省新余市经济开发区光明路1488号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的目的是提供一种改进的多晶硅提纯装置和提纯方法，所述装置包括：电磁感应熔炼单元(001)、等离子冶炼炉(200)、恒温石英导管(101)、电子束熔炼炉(305)以及定向凝固单元(401)。所述多晶硅提纯方法包括：电磁感应熔炼步骤、等离子冶炼步骤、电子束熔炼步骤以及定向凝固步骤，使电子束熔炼后的高温硅液在上下温度梯度下定向冷却凝固并均匀拉坯。本发明将离子束吹气氧化和电子束熔炼在各自独立的真空环境进行，提供最优除杂提纯工艺。设备简单，成本低廉，工艺可控，减少中间污染环节，实现了低能耗、快速高效生产太阳能级多晶硅。 |
