PM2.5防护设备、PM2.5过滤膜及其制备方法
基本信息
申请号 | CN201910880566.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112516804A | 公开(公告)日 | 2021-03-19 |
申请公布号 | CN112516804A | 申请公布日 | 2021-03-19 |
分类号 | B01D69/02(2006.01)I;B01D67/00(2006.01)I;B01D46/54(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 陈南翔;刘红超;李少平 | 申请(专利权)人 | 无锡华润微电子有限公司 |
代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 杜帅 |
地址 | 214135江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种PM2.5防护设备、PM2.5过滤膜及其制备方法。该PM2.5过滤膜具有若干由光刻和刻蚀方法形成的微孔,该若干微孔的孔径均小于2.5μm,过滤膜的材料选自聚酰亚胺、铝及铜中的一种。上述PM2.5过滤膜具有若干由光刻和刻蚀方法形成的、孔径均小于2.5μm的微孔。形成的微孔的尺寸能够得到精确的控制,并且分布范围窄。故该PM2.5过滤膜孔径尺寸可控、孔径分布范围合适。 |
