PM2.5防护设备、PM2.5过滤膜及其制备方法

基本信息

申请号 CN201910880566.0 申请日 -
公开(公告)号 CN112516804A 公开(公告)日 2021-03-19
申请公布号 CN112516804A 申请公布日 2021-03-19
分类号 B01D69/02(2006.01)I;B01D67/00(2006.01)I;B01D46/54(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 陈南翔;刘红超;李少平 申请(专利权)人 无锡华润微电子有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 杜帅
地址 214135江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种PM2.5防护设备、PM2.5过滤膜及其制备方法。该PM2.5过滤膜具有若干由光刻和刻蚀方法形成的微孔,该若干微孔的孔径均小于2.5μm,过滤膜的材料选自聚酰亚胺、铝及铜中的一种。上述PM2.5过滤膜具有若干由光刻和刻蚀方法形成的、孔径均小于2.5μm的微孔。形成的微孔的尺寸能够得到精确的控制,并且分布范围窄。故该PM2.5过滤膜孔径尺寸可控、孔径分布范围合适。