特征尺寸的偏移误差计算方法及装置、存储介质、终端
基本信息
| 申请号 | CN202111643956.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114440775A | 公开（公告）日 | 2022-05-06 |
| 申请公布号 | CN114440775A | 申请公布日 | 2022-05-06 |
| 分类号 | G01B11/03（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 全芯智造技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张英英;骆苏华 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期J2C栋13楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种特征尺寸的偏移误差计算方法及装置、存储介质、方法包括：获取待测量版图中的待测量位置点，并基于待测量位置点的位置确定多个起始位置点；计算每一个起始位置点的特征尺寸，并基于特征尺寸的值确定第一起始点和第二起始点；以第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点；以第二起始点和第二迭代准则进行迭代，获得第二目标位置点；基于第一目标位置点的特征尺寸和第二目标位置点的特征尺寸计算待测量版图的偏移误差。通过本发明技术方案能够提升偏移误差计算的效率。 |
