正多边形盘状MEMS谐振陀螺
基本信息
| 申请号 | CN201810675224.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108613669B | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN108613669B | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | G01C19/5684（2012.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郭述文;周铭 | 申请（专利权）人 | 苏州文智芯微系统技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 范晴;丁浩秋 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市高新区科创路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种正多边形盘状MEMS谐振陀螺，包括敏感结构，所述敏感结构包括谐振子，所述谐振子的中心设置有用于固定整个谐振子的固定锚点，所述谐振子为整体呈轴对称的正多边形盘状，所述谐振子包括多个同心正多边形谐振环，所述同心正多边形谐振环间通过辐条连接，所述固定锚点通过辐条与相邻的同心正多边形谐振环连接，所述多个同心正多边形谐振环以固定锚点的中心为圆心径向分布，相邻的正多边形谐振环与辐条之间形成凹槽，所述凹槽内设置有电极。正多边形结构全部采用直线连接，没有圆弧线，因此，边缘误差效应小，对称性误差相对较小，因而二个工作模态谐振频率的裂解小。 |
