首页/ 苏州文智芯微系统技术有限公司/ 专利详情

正多边形盘状MEMS谐振陀螺

基本信息

申请号 CN201810675224.0 申请日 -
公开（公告）号 CN108613669A 公开（公告）日 2018-10-02
申请公布号 CN108613669A 申请公布日 2018-10-02
分类号 G01C19/5684 分类 测量；测试;
发明人 郭述文;周铭 申请（专利权）人 苏州文智芯微系统技术有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 范晴;丁浩秋
地址 215000 江苏省苏州市高新区科创路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种正多边形盘状MEMS谐振陀螺，包括敏感结构，所述敏感结构包括谐振子，所述谐振子的中心设置有用于固定整个谐振子的固定锚点，所述谐振子为整体呈轴对称的正多边形盘状，所述谐振子包括多个同心正多边形谐振环，所述同心正多边形谐振环间通过辐条连接，所述固定锚点通过辐条与相邻的同心正多边形谐振环连接，所述多个同心正多边形谐振环以固定锚点的中心为圆心径向分布，相邻的正多边形谐振环与辐条之间形成凹槽，所述凹槽内设置有电极。正多边形结构全部采用直线连接，没有圆弧线，因此，边缘误差效应小，对称性误差相对较小，因而二个工作模态谐振频率的裂解小。