半球谐振式微机械陀螺仪及其加工工艺
基本信息
| 申请号 | CN201210231285.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103528576B | 公开（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申请公布号 | CN103528576B | 申请公布日 | 2017-01-25 |
| 分类号 | G01C19/5691(2012.01)I;G01C25/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郭述文 | 申请（专利权）人 | 苏州文智芯微系统技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 北方电子研究院安徽有限公司 |
| 地址 | 233000 安徽省蚌埠市经济开发区汤和路2016号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种半球谐振式微机械陀螺仪，其包括谐振层，谐振层包括半球球壳，半球球壳具有内凹的内表面及与内表面相对的外表面，半球球壳的顶点为其锚点，环绕半球球壳设置有多个硅球面电极，硅球面电极包括驱动电极、力平衡电极、信号检测电极、屏蔽电极，屏蔽电极将驱动电极、力平衡电极与信号检测电极分隔开，半球球壳与环绕其的多个硅球面电极形成多个电容；谐振层采用多晶硅或二氧化硅或氮化硅或金刚石材质。该半球谐振式微机械陀螺仪采用基于硅微细加工的工艺，其尺寸较小，生产成本较低，具有批量生产能力同时，其灵敏度不取决于其振幅，其驱动电压较低，可大大减小输出噪声，其精度可比现有的陀螺仪产品高。 |
