一种新型微型惯性测量单元组合
基本信息
申请号 | CN201420589114.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN204115740U | 公开(公告)日 | 2015-01-21 |
申请公布号 | CN204115740U | 申请公布日 | 2015-01-21 |
分类号 | G01C21/16(2006.01)I;G01C19/56(2012.01)I;G01P15/125(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 郭述文 | 申请(专利权)人 | 苏州文智芯微系统技术有限公司 |
代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 苏州文智芯微系统技术有限公司;北方电子研究院安徽有限公司 |
地址 | 215000 江苏省苏州市高新区科创路18号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种新型微型惯性测量单元组合,包括基座,所述基座上焊接有两个梳齿式结构的加速度计(敏感轴在芯片平面内)、一个单支点扭摆式结构的加速度计(敏感轴垂直于芯片平面)、两个单支点角振动结构的陀螺(敏感轴在芯片平面内)和一个线振动结构的陀螺(敏感轴垂直于芯片平面)。采用不同结构的惯性传感器来检测加速度和角速率三个方向的分量,这样可以不用过多的考虑各传感器敏感轴的位置关系,从而可以使得结构的排列更加紧凑,空间利用率达到最大化,可以采用叠层结构,结构紧凑,抗冲击能力强,适用于小型化和高过载场合。 |
