一种芯片光电测试机构及其测试方法
基本信息
申请号 | CN202010756738.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111880080A | 公开(公告)日 | 2020-11-03 |
申请公布号 | CN111880080A | 申请公布日 | 2020-11-03 |
分类号 | G01R31/28(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 宋玉华;孟和法;张国涛 | 申请(专利权)人 | 苏州猎奇智能设备有限公司 |
代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州猎奇智能设备有限公司 |
地址 | 215300江苏省苏州市昆山市玉山镇亿升路398号3号房 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种芯片光电测试机构,包括若干个用于收纳产品的工件台,以及若干个位于工件台上方的供电头,工件台外侧设置有与工件台上的产品对应的光电检测机构;光电检测机构包括若干组相对设置的光电测试模组,光电测试模组包括光特性测试头和电特性测试头;相对设置的光电测试模组中的光特性测试头和电特性测试头交叉设置;光电测试模组能相对工件台往复位移。本发明提供了一种操作便捷、检测稳定、具有集成化上电功能的芯片光电测试机构,能够实现光测试和电测试的交互测试。 |
