一种蓝绿光窄带响应的高性能透射式光电阴极

基本信息

申请号 CN201911274398.7 申请日 -
公开(公告)号 CN110993466B 公开(公告)日 2022-07-05
申请公布号 CN110993466B 申请公布日 2022-07-05
分类号 H01J1/34(2006.01)I;H01J9/12(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 蔡志鹏;张景文 申请(专利权)人 陕西理工大学
代理机构 北京高沃律师事务所 代理人 -
地址 723001陕西省汉中市汉台区东一环路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种蓝绿光窄带响应的高性能透射式光电阴极及其制备方法。该阴极由一端到另一端依次包括:光学选通膜,光学玻璃,增透膜,GaAlAs或GaAlAsP缓冲层,Ga1‑yAlyAs或GaAs或GaAs1‑zPz发射层和Cs:O激活层;所述光学选通膜对蓝绿光波段进行选通,y的取值范围为0~0.4,z的取值范围为0~0.4。本发明通过在光学玻璃上形成光学选通膜对蓝绿光波段进行选通,提高了响应的信噪比,使得发射层可以使用直接带隙的低Al组分的GaAlAs或GaAs或GaAsP,显著地提高了阴极对蓝绿光的吸收率、电子迁移率和表面逸出几率,进而大大提高了阴极的量子效率。