一种试料基座
基本信息
| 申请号 | CN202121626683.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215481235U | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN215481235U | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 牟培福;高军思;牟成阳 | 申请（专利权）人 | 宁波天德创新智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晓会 |
| 地址 | 315800浙江省宁波市北仑区大碶甬江南路58号1幢01室一层-1、二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种试料基座，涉及真空镀膜技术领域，所述试料基座包括升降轴、旋转轴、升降电机、旋转电机、抓料架及加热灯，升降轴外套设有旋转轴，旋转轴与抓料架连接，旋转电机与旋转轴驱动连接以驱动抓料架旋转，抓料架适于抓取试料盘；升降轴与加热灯连接，加热灯伸入抓料架内，升降电机与升降轴驱动连接以驱动升降轴向所述试料盘移动。本实用新型的试料基座，集升降、抓取、加热及旋转于一体，结构设计合理，可方便获得高质量薄膜。 |
