一种镀膜系统
基本信息
| 申请号 | CN202121610026.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215887218U | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN215887218U | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 牟培福;高军思;牟成阳 | 申请（专利权）人 | 宁波天德创新智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁晴晴 |
| 地址 | 315800浙江省宁波市北仑区大碶甬江南路58号1幢01室一层-1、二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种镀膜系统，包括腔室结构，所述腔室结构包括传递室和镀膜室；阀门装置，所述阀门装置设置在所述传递室与所述镀膜室之间；试料传递装置，所述试料传递装置设置在所述腔室结构内，所述试料传递装置适于将所述试料从所述传递室传递至所述镀膜室以及从所述镀膜室将所述试料取回；多功能基座，所述多功能基座设置在所述腔室结构内，所述多功能基座包括升降装置、旋转装置和抓取装置，所述旋转装置设置在所述升降装置上，所述抓取装置与所述旋转装置连接。相对于现有技术，通过试料传递装置与多功能基座的配合，提高了镀膜的效率以及镀膜质量。 |
