一种试料抓取结构及试料基座
基本信息
| 申请号 | CN202121616569.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215481244U | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN215481244U | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 牟培福;高军思;牟成阳 | 申请（专利权）人 | 宁波天德创新智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晓会 |
| 地址 | 315800浙江省宁波市北仑区大碶甬江南路58号1幢01室一层-1、二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种试料抓取结构及试料基座，涉及真空镀膜技术领域，所述试料抓取结构包括试料抓手和试料盘，试料抓手上设有抓取钩，试料盘上设有与抓取钩相适配的对接钩，抓取钩适于与对接钩相套对接以限制试料抓手相对试料盘滑动，试料盘内适于放置试料基片。本实用新型的试料抓取结构，通过在试料抓手上设抓取钩，在试料盘上设对接钩，抓取钩与对接钩之间通过旋转对接锁紧，相较于现有真空吸拿和电磁吸拿抓手相比，抓取牢靠，不易脱钩，稳定性更好。 |
