一种试料传递装置
基本信息
| 申请号 | CN202121608253.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215481234U | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN215481234U | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 牟培福;高军思;牟成阳 | 申请（专利权）人 | 宁波天德创新智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晓会 |
| 地址 | 315800浙江省宁波市北仑区大碶甬江南路58号1幢01室一层-1、二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种试料传递装置，涉及真空镀膜技术领域，所述试料传递装置包括第一支撑板、第二支撑板、双杆传动机构及试料托环，双杆传动机构的一端与第一支撑板固定连接，双杆传动机构的另一端穿过第二支撑板并与试料托环连接，第二支撑板适于支撑双杆传动机构，试料托环上适于放置试料盘。本实用新型的试料传递装置，通过双杆传动机构带动试料托环移动，同时配合第一支撑板、第二支撑板两点支撑方式，试料传输的稳定性更好，试料托环不会因长期使用而产生下垂现象，能够确保试料精准传输到位。 |
