一种全自动非晶制程下蜡系统
基本信息
| 申请号 | CN201811336133.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109449103A | 公开（公告）日 | 2019-03-08 |
| 申请公布号 | CN109449103A | 申请公布日 | 2019-03-08 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 肖迪 | 申请（专利权）人 | 江苏利泷半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区外环路与红旗路交汇处 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种下蜡系统，本下蜡系统包括：处理单元、加热装置，以及投液装置；其中所述加热装置上开设若干加热槽，所述加热槽适于放置蜡贴非晶片的陶瓷盘；以及所述处理单元适于控制所述加热装置以对所述加热槽内进行加热，且控制所述投液装置向非晶片表面喷射下蜡液以使非晶片从陶瓷盘上脱落；本发明实现了自动化控制下蜡的功能，克服了传统的需要人工搬运，对蜡贴非晶片进行人工揭落的问题，节省了人力、物力，并且提高了下蜡效率。 |
