氧化镓单晶生长炉

基本信息

申请号 CN202010703744.5 申请日 -
公开(公告)号 CN111893574A 公开(公告)日 2020-11-06
申请公布号 CN111893574A 申请公布日 2020-11-06
分类号 C30B35/00(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 肖迪 申请(专利权)人 江苏利泷半导体科技有限公司
代理机构 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) 代理人 江苏利泷半导体科技有限公司
地址 221300江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区环城北路北侧、红旗路东侧
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了氧化镓单晶生长炉,包括底座、脚轮、支撑板、防滑机构、调高机构以及夹持机构;其中所述底座底侧固定连接有脚轮,且底座右侧顶部贴合有支撑板;所述支撑板顶侧表面开设有导向槽,且支撑板顶侧表面中部开设有螺纹孔。该种氧化镓单晶生长炉设计新颖、结构简单、通过设置的防滑机构的作用下,便于将底座底部连接的脚轮脱离地面,通过推板将装置进行撑起,提高装置放置的稳定,满足工作者的使用需求,便于操作,在使用时,通过设置的夹持机构的作用下,便于通过夹板将放置在放置座表面的单晶生长炉主体进行稳定夹持,保障单晶生长炉主体稳定放置,避免单晶生长炉发生位移或者滑动情况,便于使用,适合推广使用。