适用于氧化镓晶体的生长设备
基本信息
| 申请号 | CN202010703748.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111719180A | 公开（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申请公布号 | CN111719180A | 申请公布日 | 2020-09-29 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 肖迪 | 申请（专利权）人 | 江苏利泷半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京乐羽知行专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江苏利泷半导体科技有限公司 |
| 地址 | 221300江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区环城北路北侧、红旗路东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种适用于氧化镓晶体的生长设备，包括炉体、圆筒、底板、连接杆、气体排出口、电机、气缸、固定套、盖板、通孔、提拉杆、籽晶、晶体、坩埚、托板、方型杆、方孔套、承载杆、承载托球、球体、球罩、限位环、螺旋弹簧、推杆、固定支架、加热器和导热条板。本申请有益之处对坩埚的加热效果较好，通过弹力压紧机构的设置，可为加热器和导热条板提供压力，保持与坩埚的接触，直接进行热传递，通过导热条板的设置保障了接触面，提高了导热效果；坩埚与电机的连接处设置了伸缩杆件，之间的距离可调，配合气缸的设置，可改变坩埚的高度，便于整体的使用。 |
