甲醛传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110869982.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113686926A | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN113686926A | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | G01N27/12 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周志斌;杨怡;喻魁兰 | 申请（专利权）人 | 南昌攀藤科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京东方汇众知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王庆彬 |
| 地址 | 330000 江西省南昌市南昌经济技术开发区昱博科技园3#厂房三层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种甲醛传感器及其制备方法，属于甲醛检测领域。本发明的甲醛传感器包括MEMS基底、甲醛敏感材料层和掺杂层，MEMS基底为一种微型加热和叉指电极复合硅片，甲醛敏感材料层为金属氧化物盐溶液，覆盖于MEMS基底之上，掺杂层为贵金属溶液，覆盖于甲醛敏感材料层之上。本发明制备的甲醛传感器具有高灵敏度、低检测限、响应时间短和低成本、可大规模制造等优势。 |
