镜片镀膜视觉监控系统
基本信息
| 申请号 | CN201721635946.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207610840U | 公开（公告）日 | 2018-07-13 |
| 申请公布号 | CN207610840U | 申请公布日 | 2018-07-13 |
| 分类号 | G01M11/02;G05D5/03 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 金辰门 | 申请（专利权）人 | 艾维特真空技术丹阳有限公司 |
| 代理机构 | 常州兴瑞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 谈敏 |
| 地址 | 212300 江苏省镇江市丹阳市开发区葛丹公路101号A区0948号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供的镜片镀膜视觉监控系统,包括真空室，真空室的底部安装有电子束源和离子源，真空室顶部有工件旋转架，工件旋转架的下端设有球面工件盘，球面工件盘上设有若干个镜片安装孔，球面工件盘的顶部中心设有观察孔，观察孔上方装有光学测试片，光学测试片的上方设置有滤光镜，滤光镜的上方设有彩色相机和反射光源，彩色相机连接有图像采集与分析系统，图像采集与分析系统连接有膜厚沉积控制系统，膜厚沉积控制系统包括膜厚控制器，膜厚控制器与电子束源连接。本实用新型将薄膜工艺过程中的监控基准实现标准化，使得产品的透光率、颜色和硬度等指标都能可靠、精确、稳定地控制在较小偏差范围内，解决人为监测和人为控制节点的偏差问题。 |
