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镜片镀膜视觉监控系统及其使用方法

基本信息

申请号	CN201711234718.7	申请日	-
公开（公告）号	CN107764523A	公开（公告）日	2018-03-06
申请公布号	CN107764523A	申请公布日	2018-03-06
分类号	G01M11/02;G05D5/03	分类	测量；测试;
发明人	金辰门	申请（专利权）人	艾维特真空技术丹阳有限公司
代理机构	常州兴瑞专利代理事务所（普通合伙）	代理人	谈敏
地址	212300 江苏省镇江市丹阳市开发区高新技术创业园A座
法律状态	-

摘要

本发明提供的镜片镀膜视觉监控系统,包括真空室，真空室的底部安装有电子束源和离子源，真空室顶部有工件旋转架，工件旋转架的下端设有球面工件盘，球面工件盘上设有若干个镜片安装孔，球面工件盘的顶部中心设有观察孔，观察孔上方装有光学测试片，光学测试片的上方设置有滤光镜，滤光镜的上方设有彩色相机和反射光源，彩色相机连接有图像采集与分析系统，图像采集与分析系统连接有膜厚沉积控制系统，膜厚沉积控制系统包括膜厚控制器，膜厚控制器与电子束源连接。本发明将薄膜工艺过程中的监控基准实现标准化，使得产品的透光率、颜色和硬度等指标都能可靠、精确、稳定地控制在较小偏差范围内，解决人为监测和人为控制节点的偏差问题，解放人力。