一种一体式晶圆出货影像留存设备
基本信息
| 申请号 | CN201610225525.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105679697B | 公开（公告）日 | 2018-09-07 |
| 申请公布号 | CN105679697B | 申请公布日 | 2018-09-07 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 沈顺金;王印玺;郑李 | 申请（专利权）人 | 安徽超元半导体有限公司 |
| 代理机构 | 合肥市浩智运专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王林 |
| 地址 | 234000 安徽省宿州市拱辰路8号科技大厦高新区管委会 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种一体式晶圆出货影像留存设备,包括静电操作台、金属挡板、摄像设备、静电纸和放置区域；所述金属挡板有三块，分别沿静电操作台的工作面的三条边垂直向上设置，所述摄像设备分别设置在各个金属挡板的顶部，所述放置区域凸起设置在静电操作台的工作面上，所述静电纸设置于所述放置区域内。本发明的晶圆出货包装完毕,将其放入本设备中，刷入此批次晶圆后既可实现自动三维拍照，三维照片上将储存该批次信息以便追溯，结构简单，使用方便。 |
