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一种晶圆打墨印装置

基本信息

申请号 CN201510734544.5 申请日 -
公开（公告）号 CN106560911A 公开（公告）日 2017-04-12
申请公布号 CN106560911A 申请公布日 2017-04-12
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 沈顺金 申请（专利权）人 安徽超元半导体有限公司
代理机构 上海集信知识产权代理有限公司 代理人 任永武
地址 226100 江苏省南通市海门市三厂街道工人新村310幢108室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆打墨印装置，涉及半导体制造设备技术领域，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通过固定螺母与垂直底座相连，所述垂直底座上安装有固定支架，所述固定支架上安装有墨印器锁定夹，所述墨印器锁定夹上安装有墨印器。本发明晶圆打墨印装置，通过在水平底座开设伸缩孔，伸缩孔上安装有伸缩调节螺母来调节水平位置；垂直底座与固定支架之间通过安装高度调节螺母来调节高度；墨印剂垂直固定在支杆上，通过渔线接触晶粒完成打墨印动作，增大了晶圆与打墨印装置的距离，大大降低了刮伤晶圆的风险，有效避免了晶圆刮伤；具有结构简单、使用方便的特点，可以安装在针测机空间比较开阔的位置，方便人员操作。