一种带有探针保护装置的针测机
基本信息
| 申请号 | CN201720314169.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206758407U | 公开（公告）日 | 2017-12-15 |
| 申请公布号 | CN206758407U | 申请公布日 | 2017-12-15 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王印玺;江姜;陶源 | 申请（专利权）人 | 安徽超元半导体有限公司 |
| 代理机构 | 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董泽宇 |
| 地址 | 247100 安徽省池州市贵池区池州市经济技术开发区电子信息产业园17号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种带有探针保护装置的针测机，包括测试机、连接电路板、弹簧针塔式连接器、机械臂、探针卡、光学影像系统、待测晶圆、承载托盘和针测机；所述探针卡包括探针卡底板和探针,其特征在于通过红外感应器监控针测机光学影像系统到探针卡底板距离，当针测机光学影像系统距离探针卡底板高度小于等于在针测机上设定的安全高度时触发报警并停止，红外感应监控报警装置信号连接于针测机现有的前门打开后报警装置实现报警功能，从而保护了探针，节约了半导体芯片的制造成本。 |
