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一种晶圆转换器

基本信息

申请号 CN202020474229.X 申请日 -
公开（公告）号 CN211507590U 公开（公告）日 2020-09-15
申请公布号 CN211507590U 申请公布日 2020-09-15
分类号 H01L21/677(2006.01)I 分类 -
发明人 姜禄 申请（专利权）人 安徽超元半导体有限公司
代理机构 合肥市浩智运专利代理事务所（普通合伙） 代理人 杜丹丹
地址 247000安徽省池州市池州经济技术开发区电子信息产业园17号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆转换器，包括平台、固定架、分体式推杆和推动装置；所述平台包括初始晶舟放置区和目的晶舟放置区；所述固定架固定在初始晶舟放置区远离目的晶舟放置区的一端，所述分体式推杆顶部与固定架顶部可拆卸式连接，所述分体式推杆底部可拆卸式连接在所述推动装置的一端，所述推动装置另一端固定在平台上；所述分体式推杆由多个推杆模块可拆卸式连接组成，推动所述推动装置能够致使所述推杆模块将晶圆由初始晶舟放置区推送至目的晶舟放置区。本实用新型的优点在于，通过分体式推杆与所述推动装置和固定架可拆卸式连接，以及分体式推杆自身的可拆卸连接，不仅能够实现晶圆的整批转换，还能实现晶圆的分批转换，适用性更强。