一种针测机承载盘的降温装置
基本信息
| 申请号 | CN201510692606.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106560665A | 公开（公告）日 | 2017-04-12 |
| 申请公布号 | CN106560665A | 申请公布日 | 2017-04-12 |
| 分类号 | F25D1/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化; |
| 发明人 | 沈顺金 | 申请（专利权）人 | 安徽超元半导体有限公司 |
| 代理机构 | 上海集信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 任永武 |
| 地址 | 247100 安徽省池州市经济技术开发区电子信息产业园17号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种针测机承载盘的降温装置，包括风机、进气管、压缩空气开关、进气接口、中空密封装置、承载盘，所述风机与进气管、压缩空气开关依次连接，所述进气接口安装在中空密封装置上，所述压缩空气开关通过连接管与进气接口相连，所述中空密封装置的下表面开设有出气孔，所述出气孔的下方固定有所述承载盘。本发明降温装置，通过风机、进气管、压缩空气阀门、连接管、中空密封装置构成外部吹气装置对承载盘进行吹气降温，具有结构简单、使用方便、降温效果好的特点；能够有效地避免降温过程导致的承载盘磕碰；能够清除针测机承载盘上存留的灰尘或其他颗粒，有效地避免存留颗粒造成的暗裂和破片风险。 |
