一种晶圆针测机
基本信息
| 申请号 | CN201720314259.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206756992U | 公开（公告）日 | 2017-12-15 |
| 申请公布号 | CN206756992U | 申请公布日 | 2017-12-15 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I;G05D27/02(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王印玺;陶源;江姜 | 申请（专利权）人 | 安徽超元半导体有限公司 |
| 代理机构 | 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董泽宇 |
| 地址 | 247100 安徽省池州市贵池区池州市经济技术开发区电子信息产业园17号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种晶圆针测机，属于晶圆测试设备领域。包括针测机主体、晶圆传输装置、空气净化器一、空气净化器二和温湿度控制器，所述晶圆传输装置与针测机主体相连，空气净化器一固定在晶圆传输装置上，针测机主体上安装有空气净化器二和温湿度控制器；本实用新型可以在非洁净室环境下进行晶圆测试，解决了针测机对晶圆做针测必须在无尘室内进行的问题，为企业大大节省了生产成本。 |
