线圈的制备方法及线圈

基本信息

申请号 CN201910223675.5 申请日 -
公开(公告)号 CN109930184A 公开(公告)日 2019-06-25
申请公布号 CN109930184A 申请公布日 2019-06-25
分类号 C25D3/38(2006.01)I; C25D5/02(2006.01)I; C25D5/10(2006.01)I; C25D7/06(2006.01)I 分类 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕;
发明人 张芸; 赵威; 董培培; 张星星; 王靖 申请(专利权)人 苏州昕皓新材料科技有限公司
代理机构 北京卓唐知识产权代理有限公司 代理人 苏州昕皓新材料科技有限公司
地址 215200 江苏省苏州市吴江区吴江经济技术开发区长安路东侧(科技创业园)
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种线圈的制备方法及线圈。该方法基于预处理的基板进行,基板包括基板主体和线圈单元,线圈单元的下端面固定在基板主体的上端面上,线圈单元包括铜线绕制而成的铜线圈,相邻两圈铜线之间填充有光阻,方法包括以下步骤:第一次电镀:利用第一电镀液在铜线圈上进行第一次镀铜;除光阻:利用光阻清洗液除去光阻,暴露出光阻下方的基板主体表面的金属层;去底铜:利用铜腐蚀液去除金属铜层,暴露出铜层下方的镍铬合金层;去镍铬合金层:利用镍铬合金腐蚀液去除镍铬合金层;第二次电镀:利用第二电镀液在铜线圈上进行第二次镀铜,完成制备。本申请解决了现有的线圈制备方法无法制备性能优良的窄线宽、窄线距、高厚度的线圈的技术问题。