一种单晶炉下氩气双向喷射的喷头
基本信息
申请号 | CN202022699829.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213570821U | 公开(公告)日 | 2021-06-29 |
申请公布号 | CN213570821U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 闫斌;王军磊;王艺澄 | 申请(专利权)人 | 江苏美科太阳能科技股份有限公司 |
代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 任立 |
地址 | 014000内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种单晶炉下氩气双向喷射的喷头,设置于阀仓和炉盖配合处,包括法兰、氩气进气管及氩气排气管,氩气排气管设置于法兰的内壁围成一个圆环形,氩气进气管穿透法兰的一端与氩气排气管连通,其中:氩气排气管分为半圆环形的加工区和半圆环形的未加工区,加工区和未加工区对称划分,未加工区的氩气排气管为实心管,加工区的氩气排气管为空心管路,氩气排气管上加工区和未加工区的交界处分别设有氩气出口,该喷头结构简单,互换性好,便于清理,改变了氩气喷射方式,两路氩气对冲式喷射,增大了氩气喷射范围,增加了氩气均匀分布,快速有效的带走氧化物。 |
