一种单晶炉下氩气双向喷射的喷头

基本信息

申请号 CN202022699829.9 申请日 -
公开(公告)号 CN213570821U 公开(公告)日 2021-06-29
申请公布号 CN213570821U 申请公布日 2021-06-29
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 闫斌;王军磊;王艺澄 申请(专利权)人 江苏美科太阳能科技股份有限公司
代理机构 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 任立
地址 014000内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种单晶炉下氩气双向喷射的喷头,设置于阀仓和炉盖配合处,包括法兰、氩气进气管及氩气排气管,氩气排气管设置于法兰的内壁围成一个圆环形,氩气进气管穿透法兰的一端与氩气排气管连通,其中:氩气排气管分为半圆环形的加工区和半圆环形的未加工区,加工区和未加工区对称划分,未加工区的氩气排气管为实心管,加工区的氩气排气管为空心管路,氩气排气管上加工区和未加工区的交界处分别设有氩气出口,该喷头结构简单,互换性好,便于清理,改变了氩气喷射方式,两路氩气对冲式喷射,增大了氩气喷射范围,增加了氩气均匀分布,快速有效的带走氧化物。