首页/ 江苏美科太阳能科技股份有限公司/ 专利详情

一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉及其制作方法

基本信息

申请号 CN202010363285.0 申请日 -
公开（公告）号 CN111424314B 公开（公告）日 2021-07-20
申请公布号 CN111424314B 申请公布日 2021-07-20
分类号 C30B29/06;C30B11/02 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 马新星;王艺澄 申请（专利权）人 江苏美科太阳能科技股份有限公司
代理机构 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 任立
地址 014010 内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉，包括制作炉炉体、合金炉、冷凝机及合金接受槽，合金炉包括炉体及石英坩埚、加热器、埚邦及埚托，石英坩埚外设有埚邦，石英坩埚的底端通过中空石墨托杆连接有坩埚升降、转动装置，炉体的底部还设有中空石英锥，炉体的上端设有合金炉惰性气体入口，炉体的下端设有合金炉排气孔；制作炉炉体上表面设有惰性气体入口，制作炉炉体的下表面设有制作炉排气孔；该制作炉结构简单，使用方便，制作镓硅合金的方法简单易行，该镓硅合金的制作有效提高了掺杂加入的可操作性及掺杂及的稳定性，提高了生产效率及掺杂准确性，有效减少了镓金属被污染或掉落流失而引起的质量风险。