一种用于提升单晶生长速度的装置及方法

基本信息

申请号 CN202110916238.9 申请日 -
公开(公告)号 CN113481591A 公开(公告)日 2021-10-08
申请公布号 CN113481591A 申请公布日 2021-10-08
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 兰志勇;王军磊;王艺澄 申请(专利权)人 江苏美科太阳能科技股份有限公司
代理机构 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 周琪
地址 014010内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于提升单晶生长速度的装置,包括坩埚本体(1)、硅溶液(2)、导流筒(3)、水冷热屏(4)和单晶硅棒(5),水冷热屏(4)的主体内部设有循环管路(4a),循环管路(4a)的进口与进水管路(6)相连、出口与出水管路(7)相连;水冷热屏(4)的内表面设为散热面(4b),散热面(4b)上连接一组散热片(8),散热片(8)的宽度由上至下逐渐减小,散热片(8)的外侧(8a)与散热面(4b)相连、内侧(8b)正对着单晶硅棒(5)设置,且每个散热片(8)的内侧(8b)到单晶硅棒(5)的最短距离相同。本发明的优点是提高水冷热屏的散热效果,增强单晶硅棒生长速度,提升生产产量,节约成本。