一种用于提升单晶生长速度的装置及方法
基本信息
申请号 | CN202110916238.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113481591A | 公开(公告)日 | 2021-10-08 |
申请公布号 | CN113481591A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 兰志勇;王军磊;王艺澄 | 申请(专利权)人 | 江苏美科太阳能科技股份有限公司 |
代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 周琪 |
地址 | 014010内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种用于提升单晶生长速度的装置,包括坩埚本体(1)、硅溶液(2)、导流筒(3)、水冷热屏(4)和单晶硅棒(5),水冷热屏(4)的主体内部设有循环管路(4a),循环管路(4a)的进口与进水管路(6)相连、出口与出水管路(7)相连;水冷热屏(4)的内表面设为散热面(4b),散热面(4b)上连接一组散热片(8),散热片(8)的宽度由上至下逐渐减小,散热片(8)的外侧(8a)与散热面(4b)相连、内侧(8b)正对着单晶硅棒(5)设置,且每个散热片(8)的内侧(8b)到单晶硅棒(5)的最短距离相同。本发明的优点是提高水冷热屏的散热效果,增强单晶硅棒生长速度,提升生产产量,节约成本。 |
