一种锅帮及直拉单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN201921821726.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211546719U | 公开（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申请公布号 | CN211546719U | 申请公布日 | 2020-09-22 |
| 分类号 | C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 赵智强;张伟新;陈辉;关树军;罗才军 | 申请（专利权）人 | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，公开一种锅帮及直拉单晶炉，其中的锅帮包括：锅帮本体，锅帮本体包括底盘和围壁，其中，围壁沿底盘的顶部开口边缘延伸设置，底盘和围壁围成用于容纳坩埚的内腔，底盘和围壁连接处形成拐角结构；锅帮还包括内保护层，内保护层至少覆盖拐角结构内侧壁，内保护层用于通过与拐角结构相对的部分托住坩埚。通过在锅帮本体内部设置内保护层，内保护层将锅帮本体受坩埚挤压力最大腐蚀最严重的拐角结构处覆盖，可以最大程度减缓锅帮本体的腐蚀，只需要更换内保护层，而不必更换锅帮整体，降低成本，降低工作量。 |
