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一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉

基本信息

申请号 CN201921802643.2 申请日 -
公开（公告）号 CN211546715U 公开（公告）日 2020-09-22
申请公布号 CN211546715U 申请公布日 2020-09-22
分类号 C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 关树军;罗才军;赵智强;张伟新;陈辉 申请（专利权）人 北京京运通科技股份有限公司
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 代理人 北京京运通科技股份有限公司
地址 100176北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及直拉单晶硅技术领域，公开了一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉，该直拉单晶硅用加热器包括圆筒状的主发热体，主发热体的筒体上设置有沿周向交替分布的第一缝隙和第二缝隙，第一缝隙与第二缝隙均沿主发热体的轴心线方向延伸，且第一缝隙的开口朝向与第二缝隙的开口朝向相反，第一缝隙和第二缝隙将主发热体分成多根依次串联的发热条，第一缝隙和第二缝隙的中间区域的宽度小于两端的宽度，以使每根发热条中间区域的宽度大于其两端的宽度。该直拉单晶硅用加热器能降低纵向的温度梯度，进而降低直拉单晶硅中的氧含量，达到减弱直拉单晶硅氧施主效应的目的。