一种碳化硅生产设备
基本信息
| 申请号 | CN201921791855.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211545965U | 公开（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申请公布号 | CN211545965U | 申请公布日 | 2020-09-22 |
| 分类号 | C01B32/956(2017.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 袁静;靳秋诚;夏树胜 | 申请（专利权）人 | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体材料SiC的生产设备技术领域，公开了一种碳化硅生产设备，包括：炉体，炉体内设有用于放置坩埚的容置空间；套设于炉体外周侧的加热线圈；与加热线圈连接、且用于驱动加热线圈沿其中心轴线的延伸方向动作的驱动装置。该碳化硅生产设备中，加热线圈在驱动装置的驱动下可以在炉体外周侧上下移动，并对炉体进行加热，使炉体内的碳化硅在长晶过程中在竖直方向形成更好的温度梯度，有利于提高成晶率，提高晶体品质。 |
