一种支撑组件及碳化硅炉
基本信息
申请号 | CN201921193512.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210765581U | 公开(公告)日 | 2020-06-16 |
申请公布号 | CN210765581U | 申请公布日 | 2020-06-16 |
分类号 | C30B23/00(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I | 分类 | - |
发明人 | 吴天舒;夏树胜 | 申请(专利权)人 | 北京京运通科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京京运通科技股份有限公司 |
地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种支撑组件及碳化硅炉,其中,支撑组件应用于碳化硅炉中,碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板。该支撑组件包括用于支撑盖板的至少两个支架,且至少两个支架环绕石英管分布以形成用于容纳石英管的空间。在上述的方案中,通过设置用于支撑盖板的至少两个支架,将盖板对石英管的压力部分或传递到至少两个支架上,以减轻盖板对石英管的压力,从而减轻石英管的承重,防止石英管因承受的压力过重而损坏。 |
