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一种密封组件及碳化硅炉

基本信息

申请号 CN201921132986.2 申请日 -
公开（公告）号 CN210770211U 公开（公告）日 2020-06-16
申请公布号 CN210770211U 申请公布日 2020-06-16
分类号 F16J15/06(2006.01)I 分类 -
发明人 靳秋诚;陈广顺 申请（专利权）人 北京京运通科技股份有限公司
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 代理人 北京京运通科技股份有限公司
地址 100176北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种密封组件及碳化硅炉，该密封组件用于密封双层石英管，双层石英管包括外石英管以及套装在外石英管内的内石英管。通过在底层法兰上设置容纳内石英管端口的第一止口，在第一止口的侧壁上设置第一斜坡面，以使第一密封圈位于底层法兰及内石英管的外壁之间，第一密封圈密封连接内石英管的外壁及第一斜坡面，从而减小内石英管的轴向压力。通过在中间法兰组件上设置容纳外石英管端口的第二止口，在第二止口的侧壁上设置第二斜坡面，使第二密封圈位于中间法兰组件及外石英管的外壁之间，第二密封圈密封连接第二斜坡面及外石英管的外壁，从而减小外石英管的轴向压力。从而减小石英管因轴向压力过大而损坏的概率。