一种制作半导体激光器热沉的方法

基本信息

申请号 CN201410119425.4 申请日 -
公开(公告)号 CN103887703B 公开(公告)日 2017-01-04
申请公布号 CN103887703B 申请公布日 2017-01-04
分类号 H01S5/024(2006.01)I;H01S5/02(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李刚;张松;崔碧峰;徐旭红;赵瑞;计伟 申请(专利权)人 北京牡丹电子集团有限责任公司
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 代理人 北京牡丹电子集团有限责任公司
地址 100191 北京市海淀区花园路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种带石墨烯层的半导体激光器热沉,包括从下至上依次沉积的基体材料层、无氧铜层和石墨烯层,所述基体材料层采用的材料是氮化铝陶瓷、氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、氮化硅陶瓷、碳化硅或氮化硼中的任意一种。本发明还对应给出了制作所述热沉的方法。本发明采用石墨烯层作为热沉的散热材料,充分利用石墨烯热导率高的物理特性,将半导体激光器工作时产生的热量传导出来并发散掉,能够在不增加半导体激光器重量、体积的情况下,大幅提高半导体激光器的散热能力,降低半导体激光器工作时的温度,保证半导体激光器的光电性能和可靠性,延长半导体激光器的寿命。