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一种可实时监测液位的化学品供液罐

基本信息

申请号 CN202123003386.6 申请日 -
公开（公告）号 CN216425543U 公开（公告）日 2022-05-03
申请公布号 CN216425543U 申请公布日 2022-05-03
分类号 B65D90/48（2006.01）I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 刘健;郭生华;龚明 申请（专利权）人 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司 代理人 白振宇
地址 110168辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于化学品供液罐领域，具体地说是一种可实时监测液位的化学品供液罐，包括罐体、封盖、可伸缩储液筒、执行器位置传感器及被感应零件，可伸缩储液筒设置于罐体的内腔中、且上端开口而下端密封，被感应零件设置于可伸缩储液筒的下端，执行器位置传感器安装于罐体的外部、并检测被感应零件的高度位置。被感应零件在可伸缩储液筒的下端随可伸缩储液筒上下移动，通过执行器位置传感器测出被感应零件的高度位置，进而得出可伸缩储液筒内腔中液体的高度大小。该过程中执行器位置传感器输出模拟量信号，转换成的液位高度曲线可为线性、连续，可对罐体中液体的液位进行实时监测，以便随时补充液体，从而完成对晶圆的不间断加工。