晶圆搬运装置
基本信息
| 申请号 | CN202210107817.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114446851A | 公开（公告）日 | 2022-05-06 |
| 申请公布号 | CN114446851A | 申请公布日 | 2022-05-06 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴天尧;李舒驰 | 申请（专利权）人 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄海霞 |
| 地址 | 110168辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种晶圆搬运装置，包括：抓取手指，用以抓取表面带有液体的晶圆；手指驱动机构，所述抓取手指设置于所述手指驱动机构的末端，以驱动所述抓取手指在第一伸出位置和缩回位置之间移动；废液组件，所述废液组件设置于所述抓取手指移动路径的下方，以收集晶圆搬运过程中所述晶圆上滴落的液体，通过将所述废液组件设置于所述抓取手指移动路径的下方，将位于所述第一伸出位置和所述缩回位置路径上滴落的液体收集起来，有利于避免液体造成所述晶圆搬运装置本体和所述抓取手指移动路径下方的其他设备的腐蚀和损坏。 |
