基板处理系统
基本信息
| 申请号 | CN202011589962.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114695211A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114695211A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 彭博;陈兴隆 | 申请（专利权）人 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 110168辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种基板处理系统，包括装载单元、过渡单元、工艺单元、至少一个第一传送单元、至少一个第一位置检测单元、至少一个第二传送单元以及至少一个第二位置检测单元。所述基板处理系统中，包括第一位置检测单元和第二位置检测单元，从而保证了同一所述第一传送单元中的机械臂部分或全部同步运动，也保证了同一所述第二传送单元中的机械臂部分或全部同步运动，从而能够保证同时在所述装载单元和过渡单元之间，以及所述过渡单元和所述工艺单元之间同时搬运多个基板，提高了基板的处理效率。 |
