一种片盒保管搬运设备
基本信息
| 申请号 | CN202011214239.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114435935A | 公开（公告）日 | 2022-05-06 |
| 申请公布号 | CN114435935A | 申请公布日 | 2022-05-06 |
| 分类号 | B65G47/90（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 刘晓姣;洪旭东 | 申请（专利权）人 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 何丽英 |
| 地址 | 110168辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于电子半导体生产技术领域，特别涉及一种片盒保管搬运设备。包括片盒保管搬运机器人；片盒保管搬运机器人包括依次连接的X轴驱动机构、Z轴驱动机构及R轴驱动机构，其中R轴驱动机构包括旋转驱动机构、大臂、小臂及端拾器，旋转驱动机构通过Z轴滑板与Z轴驱动机构连接；大臂的后端与旋转驱动机构连接，大臂的前端与小臂的后端转动连接，小臂的前端与端拾器转动连接；旋转驱动机构驱动大臂转动，大臂带动小臂反向转动，从而带动端拾器沿R轴方向平移。本发明的R轴驱动机构能够使端拾器在水平方向上前后移动，使得机器人具有X轴、Z轴和R轴三个方向的自由度，更加灵活，增大了抓取范围。 |
