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一种片盒保管搬运系统

基本信息

申请号 CN202011214845.2 申请日 -
公开（公告）号 CN114435813A 公开（公告）日 2022-05-06
申请公布号 CN114435813A 申请公布日 2022-05-06
分类号 B65G1/04（2006.01）I;B65G47/90（2006.01）I;B65G1/20（2006.01）I;B65G1/16（2006.01）I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 刘晓姣;洪旭东 申请（专利权）人 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司 代理人 何丽英
地址 110168辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于电子半导体生产技术领域，特别涉及一种片盒保管搬运系统。包括片盒保管搬运机器人和片盒存储框架，其中片盒存储框架的一侧从上至下依次设有天车位、缓存位和人工位，另一侧设有装载设备；片盒保管搬运机器人设置于片盒存储框架内，用于片盒在各工位之间的传输。片盒存储框架的一侧设有与人工位相对应的推拉门，推拉门上设有安全门锁；片盒存储框架上设有用于控制安全门锁开合的取片盒按钮和放片盒按钮。本发明的片盒存储框架配合片盒保管搬运机器人可以设计两列缓存区，增加了片盒的存储量，满足高产能的要求。片盒存储框架上的人工位可以在天车出现故障时，由人工将片盒取出和放置到人工位上。