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一种气液分离式排废气装置

基本信息

申请号 CN202123003390.2 申请日 -
公开（公告）号 CN216630228U 公开（公告）日 2022-05-31
申请公布号 CN216630228U 申请公布日 2022-05-31
分类号 B01D53/00（2006.01）I;B01D5/00（2006.01）I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 郭绪斌;史雅君 申请（专利权）人 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司 代理人 -
地址 110168辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于涂胶显影机配件领域，具体地说是一种气液分离式排废气装置，包括排风管道、自动排气阀、排风盒及气液分离板，气液分离板部分插设于排风盒中，排风盒的一端与排风管道连通、另一端与自动排气阀的输入端密封连通，排风盒与自动排气阀之间通过连接边沿、卡接边沿、密封垫B及紧固螺钉的配合设置进行组装。本实用新型通过排风盒及气液分离板的配合设置，可使较多的溶剂或光刻胶残留物留在排风盒内，且气液分离板拆装方便；通过连接边沿、卡接边沿、密封垫B及紧固螺钉的配合设置，方便排风盒与自动排气阀之间的拆装，且密封效果好。本实用新型可避免较多的溶剂或光刻胶残留物进入并存留在自动排气阀中，整体拆装清理更方便。